3LCoS的关键技术

    综上所述，LCoS是LCD与LSIC相结合的结晶产物。故它具有该两大行业的一般技术特征。但它的特殊结构与机理又决定其特殊的技术要求与特征。

    在制造LCoS过程中，除需原有的液晶和半导体常规成熟的工艺与技术外，还需如下一些的关键技术。

    3.1特殊的材料技术

    （1）特殊液晶混合配方材料

    配制该材料是为了适用于投影电视光源投射时的温度，应能在50℃较高温度下正常工作。为满足视频图像显示的需求，显示材料应有较快的响应速度。为能与仅有1~2μm的盒厚相匹配，显示材料应具有较高的介电常数等。

    （2）超常平整度、高导电率、高透射率及低膨胀系数的氧化铟锡（ITO）玻璃基板

    LCoS的液晶盒是由硅片和玻璃基板封接而成，故所用的玻璃基板的膨胀系数需接近于硅片的膨胀系数。由于盒厚仅1~2μm，故表面应很平整，又由于光学和驱动上的需求，其表面的ITO膜层应是高透射率及高导电率。

    3.2特殊的工艺技术

    （1）在制作硅片上

    ①需在单晶硅基片上制成X-Y像素矩阵下的有源矩阵；

    ②需在每个有源像点上制成一个要有一定一致性的补偿电容；

    ③制作遮光层；

    ④制作1~2μm的盒厚衬垫；

    ⑤像素表面化学抛光；

    ⑥像素表面蒸镀反光层；

    ⑦硅片上的外引线连接。

    （2）在制作液晶盒上

    ①特殊零件的净化操作；

    ②1~2μm盒厚的控制与封接技术；

    ③理想的液晶分子定向工艺技术；

    ④薄盒的液晶灌注技术；

    ⑤显示模块制造工艺技术。

    3.3特殊的设计技术

    特殊的设计技术包括液晶与IC的综合设计与制版。

    3.4特殊的检测技术

    特殊的检测技术是控制LCoS质量之关键，LCoS需有一些不同于普通IC和LCD的特殊电参数与光参数的检测技术。还需有专业测试分析软件，其中包括数据回放软件、时域分析软件及频域分析软件。

    3.5特殊的配套技术

    LCoS的显示必需借助配套的光路系统方能实现。按不同的用途，可有如下各种方式，它们对LCoS至关重要。